(2)气相反应法 是通过金属化合物蒸气的化学反应而合成的方法。在SiC、Si3N4等的合成中使用该方法。
固相合成虽然也相当普及,但最近在制造SiC和Si3N4时,也可以看出这种气相反应法的应用实例。
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